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隨著工業經濟的發展，廢氣處理方法，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業產生的揮發性有機廢氣也日漸增多。這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時間，還會擴散和漂移到較遠的地方，給環境帶來嚴重的污染。這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康產生極大的危害，工業廢氣的無控制排放使全球性的大氣環境日益惡化。低溫等離子設備因此選擇一種經濟、可行性強的處理方法勢在必行。低溫等離子廢氣處理設備在此情況下應運而生。
降解揮發性有機污染物(VOCs)傳統的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有很大的優勢。但由于等離子體是一門包含放電物理學、放電化學、化學反應工程學等基礎學科之上的交叉學科。因此, 目前能成熟的掌握該技術的單位非常的少。大部分宣傳采用低溫等離子技術處理廢氣的宣傳都不是真正意義上的低溫等離子廢氣處理技術或根本達不到所要求的處理效率。